潔(jie)凈(jing)室(shi)的(de)(de)氣(qi)流(liu)(liu)是影(ying)(ying)響(xiang)潔(jie)凈(jing)室(shi)性能的(de)(de)重要因素。一般潔(jie)凈(jing)室(shi)的(de)(de)氣(qi)流(liu)(liu)速度在0.25-0.5m/s之(zhi)間，屬于微風(feng)區，容易受到(dao)人和機(ji)器動作的(de)(de)干擾。雖然提高風(feng)速可以抑制(zhi)這(zhe)種擾動的(de)(de)影(ying)(ying)響(xiang)，保(bao)持潔(jie)凈(jing)度，但(dan)風(feng)速的(de)(de)提高會影(ying)(ying)響(xiang)運行費用的(de)(de)增(zeng)加。因此，當達到(dao)要求的(de)(de)潔(jie)凈(jing)度水平時，應以最(zui)合適的(de)(de)風(feng)速向以下位(wei)置送風(feng)

另(ling)一(yi)方面(mian)，為了達(da)到潔凈室潔凈度的(de)穩定(ding)效果，保(bao)持(chi)均勻(yun)的(de)氣流(liu)也是一(yi)個(ge)重要因素。如果不能(neng)保(bao)持(chi)均勻(yun)的(de)氣流(liu)，就(jiu)說明風速不一(yi)樣，特別是在墻面(mian)上(shang)，氣流(liu)會(hui)沿著墻面(mian)打(da)旋，這個(ge)時候要達(da)到高潔凈度其實(shi)是很難的(de)。

為了在(zai)垂(chui)直層流(liu)(liu)方向上保持均(jun)(jun)勻的氣流(liu)(liu)，有必要：(a)吹送空氣的速(su)度(du)不應有差異；(b)地板(ban)回(hui)風(feng)板(ban)吸(xi)力面的風(feng)速(su)不得不同速(su)。速(su)度(du)過低或過高(0.2m/s、0.7m/s)時(shi)(shi)會產生渦流(liu)(liu)，而0.5m/s時(shi)(shi)氣流(liu)(liu)相對均(jun)(jun)勻(21世紀80、90年代(dai))，一般(ban)潔凈室的風(feng)速(su)在(zai)0.25-0.5m/s之間。

 影(ying)響潔凈室氣(qi)流的(de)(de)因(yin)素很多(duo)，如(ru)工藝(yi)設(she)(she)備、人員、潔凈室裝(zhuang)配材料、照(zhao)明燈(deng)具等。同時，還應考慮生產設(she)(she)備上方氣(qi)流的(de)(de)分流點(dian)。

一般操(cao)作(zuo)(zuo)臺或生(sheng)產(chan)(chan)設備表面(mian)的(de)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)分(fen)流(liu)(liu)(liu)點應位于(yu)潔凈室空間(jian)與隔板(ban)距離的(de)2/3處(chu)，使氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)從工(gong)藝區(qu)內部流(liu)(liu)(liu)向操(cao)作(zuo)(zuo)區(qu)，帶(dai)(dai)走粉塵。如果分(fen)流(liu)(liu)(liu)點布置在工(gong)藝區(qu)的(de)前面(mian)，就會(hui)變成(cheng)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)分(fen)流(liu)(liu)(liu)不當。此時大(da)部分(fen)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)會(hui)流(liu)(liu)(liu)向工(gong)藝區(qu)后面(mian)，操(cao)作(zuo)(zuo)者操(cao)作(zuo)(zuo)產(chan)(chan)生(sheng)的(de)粉塵會(hui)被帶(dai)(dai)到設備后面(mian)，從而污染工(gong)作(zuo)(zuo)臺，成(cheng)品率必然下降。

房間內無塵工作臺(tai)等障礙(ai)物(wu)會(hui)在(zai)連接(jie)處產生(sheng)渦流(liu)現象，周圍的(de)潔凈度會(hui)相對較差。在(zai)工作臺(tai)上鉆(zhan)回氣孔(kong)將渦流(liu)現象降到最低(di)。組裝材(cai)料的(de)選擇是否合適，設備的(de)布局是否完(wan)善(shan)，也是氣流(liu)是否成為(wei)渦流(liu)現象的(de)重要因素。